AT200M

CHAMBRE

• Températures de la chambre de RT à 300°C ± 1 °C
• Températures du précurseur de RT à 150°C ± 2°C (avec enveloppe chauffante)
• Le plus petit encombrement du marché (1.6 sq ft), installation sur table, compatible avec les salles
• blanches, peut également être placé dans une boîte à gants.
• Maintenance simple du système et faible consommation d'énergie et de précurseurs.
• Faible volume de la chambre
• Capacité de cyclage très rapide.
• Verrouillages HW et SW complets pour un fonctionnement sûr, même dans un environnement multi-utilisateurs.

LOGICIEL

• Système PLC à interface homme-machine (IHM) avec écran tactile de 5 pouces.
• Commandes avancées adaptées au dépôt de cycles ALD standard
• Base de données de recettes pour des processus testés et de haute qualité
• Écran de saisie des recettes personnalisées
• Affichage en temps réel de l'état du processus
• Températures des sources chauffantes programmables individuellement
• Séquences d'impulsions intégrées pour les composés ternaires et les nano-laminés
• Fonctionnement rapide avec des questions simples pour permettre à l'utilisateur de démarrer
• Saisie de sous-cycles et de cycles globaux

OPTIONS

• Pas d'intégration dans une boîte à gants (tient dans une boîte à gants).
  Chuck/plateau personnalisé (carré, circulaire, double substrat, paniers, petites pièces, substrats plus épais)
• ATOzone - Générateur d'ozone (nécessaire pour certains films : Pt, Ir, SiO2, MoO2, Al2O3 de haute qualité en dessous de 60°C, HfO2 de haute qualité).
• Option - Moniteur de sécurité pour l'ozone avec détection en temps réel de l'ozone gazeux ambiant
• Option 4 ports (ex. : 2 précurseurs chauffés, 1 précurseur non chauffé, 1 contre-réactif)
• Tambour de poudrage
• Contrôle externe - liaison PC/logiciel (permet la programmation et le fonctionnement à distance)
• Armoire à précurseurs ventilée incluse
• Chambres de rechange

UTILITES

• Le gaz de purge N2 doit être >99,9995% avec une vanne d'arrêt (régulée à 10 - 30 psi, scellée en métal),
• Raccorder le gaz de purge à l'azote (UHP) via une conduite métallique étanche de 1/4″ au raccord de compression de 1/4″ à l'arrière de la chambre.
• Fixer l'air sec et pur de 90-110 psi via un tuyau de polyéthylène de 1/4″ ou une conduite métallique à l'autre raccord à compression de 1/4″.
• Fixer la pompe avec un tuyau à vide approprié de 1″ (de préférence en métal (SS)) (KF25), un joint torique et un collier de serrage.
• L'autre côté (côté échappement) de la pompe à vide (* huile à vide perfluorée comme Fomblin, nécessaire) doit aller à l'échappement standard du laboratoire ou au toit avec un tirage > 5cfm (tuyau de 1″, également).
• Au-delà d'un mètre, il faut utiliser des tubes de 1,5″ (NW40).
• Les précurseurs se fixent à l'aide de coudes VCR femelles (toujours utiliser des joints neufs).
  Joint 1/4″ d'abord (avec des gants)