Insolateur UV Automatique (Auto UV curing)

Les modèles UV-9200 et UV-9300 présentent plusieurs caractéristiques techniques avantageuses :

• Fonctionnement entièrement automatique, éliminant le besoin de contact manuel avec les wafers,
• Cycle de traitement continu pour une efficacité optimale,
• Interface logicielle Windows familière et facile à utiliser,
• Source d'irradiation UV sans ozone, garantissant un environnement de travail sûr,
• Faible coût de possession,
• Encombrement réduit de 58 × 111 cm, idéal pour les espaces de production limités.

Le système utilise une longueur d'onde UV efficace de 365 nm et peut traiter jusqu'à 12 wafers en seulement 8 minutes, offrant ainsi une productivité élevée.

Les systèmes UV-9200 et UV-9300 offrent un processus de traitement UV simple et efficace :

• L'opérateur insère la cassette de wafers et lance le processus,
• Le système scanne automatiquement la cassette pour déterminer les emplacements occupés,
• Les wafers sont transportés et exposés individuellement selon la recette programmée,
• Le système optimise le temps de traitement en préparant le wafer suivant pendant l'exposition du wafer en cours,
• Une fois le traitement terminé, l'opérateur peut retirer la cassette.

De plus, le UV-9300 propose des fonctionnalités supplémentaires telles que :

• Mesure en ligne de l'intensité UV,
• Mode de fonctionnement spécial pour la formulation de recettes et les tests,
• Verrouillages de sécurité pour la protection de l'opérateur,
• Lampes de signalisation configurables par l'utilisateur.

En résumé, le UV-9300 est un système de traitement UV automatique, efficace et sûr, offrant une solution complète pour les besoins de traitement UV dans l'industrie des semi-conducteurs.