- Chuck circulaire personnalisable pour des tailles plus petites ou d'autres formes (11 mm de haut).
-AT410 : chuck de 4’’ -AT610 : chuck de 6’’ -AT810 : chuck de 8’’
- Système de paillasse à faible encombrement (< 0.15m3 | 2.5 sq ft pour AT410)
- Lignes scellées en métal de qualité semi-conducteur et valves ALD à pulsation rapide compatibles avec les hautes températures.
- MFC ultrarapide pour une purge de gaz inerte intégrée.
- 3 précurseurs organométalliques et 2 (jusqu'à 3) contre-réactifs. Les précurseurs peuvent être chauffés jusqu'à 150°C.
- Lignes chauffées tout au long du processus (du précurseur à la chambre).
- Exposition élevée (pour les tranchées et les substrats poreux) et mode de traitement statique.
- Chambre entièrement en aluminium (qualité semi-conducteur) - gamme jusqu'à 320°C (AT410), 310°C (AT610), 300°C (AT810)
- Contrôleur PLC à écran tactile 7″ (pas de PC nécessaire)
- Mises à jour logicielles à vie incluses
- Maintenance simple du système et consommation la plus faible du marché en termes d'utilités et de précurseurs
CHAMBRE
- Températures de la chambre de RT à 320°C ± 1 °C (300°C pour AT610 et AT810) ;
- Températures du précurseur de RT à 180°C ± 2°C avec jaquette chauffante (150°C pour AT610 et AT810)
- Encombrement le plus faible du marché, installation sur paillasse et compatible avec les salles blanches
- Maintenance simple du système et consommation de précurseurs et d'utilités la plus faible du marché
- Conception rationalisée de la chambre et faible volume de la chambre
- Capacité de cyclage rapide (jusqu'à 1,2nm/min Al2O3) et traitement à haute exposition et à fort relief disponible
- Verrouillages HW et SW complets pour un fonctionnement sûr, même dans un environnement multi-utilisateurs.
LOGICIEL
- Système PLC à interface homme-machine (HMI) avec écran tactile de 7 pouces
- Commandes avancées adaptées au dépôt de cycles ALD standard
- Base de données de recettes pour des processus testés et de haute qualité
- Écran de saisie des recettes personnalisées
- Affichage en temps réel de l'état du processus
- Températures des sources chauffantes programmables individuellement
- Séquences d'impulsions intégrées pour les composés ternaires et les nano-laminés
- Fonctionnement rapide avec des questions simples pour lancer l'utilisateur
- Saisie de sous-cycles et de cycles globaux
OPTIONS
- Chuck/plateau personnalisé (carré, empreintes pour les petites pièces, poudres)
- Chambre personnalisée (substrats plus épais)
- ATOzone - Générateur d'ozone (nécessaire pour certains films : Pt, Ir, SiO2, MoO2, Al2O3 de haute qualité en dessous de 60°C, HfO2 de haute qualité)
- En option - Moniteur de sécurité pour l'ozone avec détection en temps réel de l'ozone gazeux ambiant QCM (Microbalance à cristal de quartz)Intégration d'une boîte à gants (généralement nécessaire pour ne pas exposer le substrat à l'humidité, aux sulfures, etc.)
- Contrôle externe - liaison PC/logiciel (permet la programmation et le fonctionnement à distance)
- Armoire à précurseurs ventilée
- Chambre de rechange
- IGPA (assistance à la pression de gaz inerte) pour les précurseurs à faible pression de vapeur
- Températures plus élevées sur les précurseurs (jusqu'à 180°C)
- Troisième contre-réactif
- Contrôle logiciel du troisième contre-réactif
UTILITES
- Le gaz de purge N2 doit être >99,9995% avec une vanne d'arrêt (régulée à 10 - 30 psi, scellée en métal).
- La ligne d'entrée est un raccord de compression VCR femelle
- Raccorder le gaz de purge d'azote (UHP) à > 99,9995 % via une conduite métallique de 1/4″ au raccord de compression 1/4″ à l'arrière.
- Raccorder l'air sec propre (90-110 psi) via un tube de polyéthylène 1/4″ ou une conduite métallique à l'autre raccord de compression 1/4″ marqué CDA (Air sec propre).
- Min 12cfm pompe lubrifiée (**fluide à vide PTFE (comme Fomblin) requis) (610 et 810 utilisent des pompes plus grandes typiquement 19.5 cfm ou plus)
- Connexion NW25 (KF25) (1″) et également ligne d'échappement (avec un débit > 5cfm)
- Au-delà d'un mètre, utiliser une conduite d'échappement NW40 (1,5″).
- Les précurseurs se fixent à l'aide de coudes VCR femelles (toujours utiliser des joints neufs). Coude : Joint 1/4″ d'abord (avec des gants)
