Clusters

La série MAXIMUS de Robotechnik comprend des systèmes de microcluster haute performance conçus pour les processus de production automatique de substrats dans l'industrie des semiconducteurs. Ces systèmes sont idéaux pour obtenir d'excellents résultats de processus, d'uniformité et de répétabilité. La série MAXIMUS comprend des modèles tels que MAXIMUS 804 et MAXIMUS 806, chacun adapté à des besoins et applications spécifiques.

Le MAXIMUS 804 est un système de microcluster entièrement automatisé conçu pour les processus de production de substrats uniques. Il gère des tailles de wafers de Ø 2” à Ø 8” et des tailles de substrats de 2”x2” à 6”x6”. Le système peut être équipé de jusqu'à 4 unités de processus telles que coater, développeur, nettoyeur, graveur, plaques chauffantes, plaques refroidissantes et plaques HMDS. Le MAXIMUS 806 offre des capacités similaires mais peut être équipé de jusqu'à 6 unités de processus, le rendant adapté à des applications plus étendues.

Avantages Techniques :

• Uniformité et Répétabilité: La technologie brevetée Covered Chuck assure une excellente uniformité de revêtement.
• Polyvalence: Capable de gérer divers processus, y compris le revêtement, le développement, le nettoyage, la gravure et la cuisson.
• Facilité d'Utilisation: Des fonctionnalités telles que les écrans tactiles, la vitesse et l'accélération programmables, et le changement facile des chucks améliorent l'expérience utilisateur et la maintenance.
• Automatisation: Ces systèmes entièrement automatisés et flexibles améliorent l'efficacité et la répétabilité des processus de lithographie.

Applications :

Ces systèmes de microcluster sont largement utilisés dans l'industrie des semiconducteurs pour des processus tels que le revêtement de résines photosensibles, le développement, le nettoyage, la gravure et la cuisson. Ils sont des outils essentiels pour obtenir un traitement uniforme de haute qualité sur divers substrats, garantissant des performances optimales dans les étapes de fabrication ultérieures.