distributeur français d’équipements et consommables pour l’industrie du Semiconducteur.

Plaques chauffantes

Hot Plate

En version « table-top ou intégrée en paillasse « bench-mounted », cette plaque chauffante spinner permet de réaliser des process thermiques à une température jusqu’à 300°C (600°C en option).

Selon vos prescriptions techniques, le substrat peut reposer directement sur la plaque chauffante ou être légèrement surélevé par rapport à celle-ci, grâce à des liftpins pneumatiques (2 positions : basse ou haute) ou électroniques (hauteur ajustable).

Une configuration spécifique pour un procédé HMDS est disponible sur demande

Plaque chauffante standard

  • Chauffage jusqu’à 350°C
  • Uniformité de température < 1°C
  • Option pions de levage
  • Contrôleur de température programmable Eurotherm
  • Wafer jusqu’à 200 mm