Les modèles UV-KUB2 et UV-KUB3 de KLOE offrent des solutions avancées pour diverses applications.
Les équipements UV-KUB2 et UV-KUB3 bénéficient de l'expertise de KLOE en matière de conception optique, offrant ainsi des performances inégalées dans le domaine de la photolithographie.
- Exposition homogène : Les systèmes UV-KUB2 et UV-KUB3 assurent une exposition UV homogène avec une variation de +/- 5%, garantissant des résultats uniformes.
- Longue durée de vie des LED : Les sources UV-LED des UV-KUB2 et UV-KUB3 ont une durée de vie supérieure à 10 000 heures, réduisant ainsi les coûts de maintenance.
- Précision et flexibilité : Les systèmes UV-KUB2 et UV-KUB3 offrent une résolution allant jusqu'à 1µm, permettant de réaliser des motifs complexes avec une grande précision.
- Interface utilisateur intuitive : Le modèle UV-KUB3 est équipé d'un écran tactile de 15,6" et d'un joypad ergonomique pour une utilisation facile et rapide.
- Sécurité et propreté : Les chambres d'exposition des UV-KUB2 et UV-KUB3 sont entièrement fermées, garantissant une sécurité maximale pour l'utilisateur et une propreté optimale.
Applications :
- Microfluidique : Fabrication de dispositifs microfluidiques avec une précision élevée.
- Microélectronique : Production de circuits intégrés et composants électroniques.
- Photonique : Fabrication de dispositifs optiques tels que des microlentilles et des réseaux de diffraction.
- Fonctionnalisation de surface : Modification des surfaces pour des propriétés spécifiques.
Les équipements UV-KUB2 et UV-KUB3 sont conçus pour offrir une exposition UV homogène et précise, garantissant une flexibilité et une précision exceptionnelles pour répondre aux besoins des industries de haute technologie.
Avec la gamme UV-KUB, vous profitez d’équipements de pointe, offrant de hautes performances, une expérience utilisateur extra-ordinaire pour des équipements conçus et fabriqués en France.
UV-KUB2 :
- Résolution : 1µm.
- Angle de divergence : < 2°.
- Nombre de cycles programmables : 10.
- Cycles d'exposition (continu/discontinu) : De 1s à 1h.
- Processus : Contact physique (dur) ou de proximité (doux).
- Longueur d'onde : 365nm +/- 5nm.
- Exposition homogène : +/- 5%.
- Durée de vie des LED : > 10 000 heures.
- Surface de travail : Plaquettes de 4" ou 6".
- Échauffement du substrat pendant l'exposition : < 1°C.
- Photoresist compatibles : SU8, Shipley, AZ Resist, K-CL resist (développé par Kloe).
UV-KUB3 :
- Résolution : 1µm.
- Angle de divergence : < 2°.
- Nombre de cycles programmables : 100.
- Cycles d'exposition (continu ou cyclique) : De 1s à 1h.
- Processus : Contact physique (dur) ou de proximité (doux).
- Système de visualisation : Résolution de 1,5µm.
- Déplacement du substrat XYZ : Résolution de 0,4µm.
- Source UV-LED : Longueur d'onde de 365nm +/- 5nm.
- Exposition homogène : +/- 5%.
- Durée de vie des LED : > 10 000 heures.
- Surface de travail : Plaquettes de 4" ou 6".
- Taille des masques acceptés : Jusqu'à Ø 5" ou Ø 7".
- Taille des substrats acceptés : Ø 2", Ø 4", Ø 6" et 50 x 50mm, 100 x 100mm.
- Échauffement du substrat pendant l'exposition : < 1°C.
- Photoresist compatibles : SU8, Shipley, AZ Resist, K-CL resist (développé par Kloe)
Options disponibles pour la gamme Dilase :
- Filtres pour réduire la densité de puissance : Disponibles pour les modèles Dilase 125.
- Système de réalignement vidéo : Option pour une précision accrue.
- Sources LED : Options de longueur d'onde de 325nm, 375nm et 405nm.
- Échantillons acceptés : Diverses tailles et épaisseurs de substrats compatibles.
Les équipements de la gamme UV-KUB de KLOE offrent des solutions personnalisables pour répondre aux besoins spécifiques des clients dans les domaines de la microélectronique, de la microfluidique, de la micromécanique, de la photolithographie et plus encore.
