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Prober TS2000 standard

Stations de test automatisée wafers jusqu’à 200 mm

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MPI série TS2000 : Système de test sous pointes semi-automatique jusqu’à 200 mm pour des mesures de test de production CC, RF et haute puissance fiables.

Conçu pour une grande variété d’applications de production sur wafers

  • Applications DC-IV/ DC-CV / Pulsed-IV
  • Applications RF jusqu’à 67 GHz et configuration à 4 ports
  • Application de production haute puissance jusqu’à 10 kV / 600 A
  • Validation de la conception des circuits intégrés de l’ambiant à 300 °C

 

Fiabilité de la production

  • Conçu pour une fiabilité en production 24h/24 et 7j/7
  • Table anti-vibration passive intégrée
  • Base anti-vibration active en option
  • Conçu pour les mesures en température de l’ambiant à 300 °C

 

Conception ergonomique et options

  • Conçu avec un chargement frontal facile d’un seul wafer
  • Grande platine de test prenant en charge jusqu’à 12x DC ou 4x DC + 4x RF MicroPositioners ou support de carte de sonde standard de 4,5 pouces.
  • Disponible avec diverses options de chuck et une large gamme d’accessoires tels que l’adaptateur de carte de sonde de 4,5 pouces, les micropositionneurs DC / RF, des microscopes haute performance permettant de prendre en charge diverses applications

Large platine de test
La série TS2000 dispose d’une large platine de test, facilement accessible, permettant d'accueillir jusqu'à 12 micropositionneurs DC ou 4 micropositionneurs RF.
L'intégration de tuners Load-Pull ou de micropositionneurs de plus grande surface fait du système TS2000 un choix idéal pour les mesures RF et mmW.

Chargement facile des wafers
Le large accès à la porte avant permet une procédure de chargement/déchargement facile pour les wafers de 100, 150, 200 mm, les fragments de wafers ou même les petits circuits intégrés de 5×5 mm.
Les chucks AUX sont tous deux situés à l'avant et peuvent être chargés/déchargés très facilement.
L'absence d'étage de sortie permet une méthode d'automatisation simple pour l'étalonnage RF et le nettoyage des cartes de sonde.

Panneau de commande intégré
Le panneau de contrôle intelligent est complètement intégré au système et a été conçu sur la base de décennies d'expérience et d'interactions avec les clients afin d'offrir un contrôle du prober et des opérations de test plus rapides, plus sûrs et plus pratiques. Le clavier et la souris sont placés à des endroits stratégiques pour contrôler le logiciel si nécessaire et contrôler également l'instrumentation basée sur Windows®.
Le panneau de contrôle du vide pour les chucks Wafer et AUX se trouve sur le côté avant droit pour un accès facile pendant la procédure de chargement/déchargement.

Carte à pointes et micropositionneurs – simultanément
Le support de carte de sonde à profil bas pour carte à pointes de 4,5" x 11" et une distance plus faible entre le wafer et le chuck sont parfaits pour le test simultané avec des pointes actives, ce qui fait du système un choix idéal pour la validation de la conception et/ou l'analyse des défaillances.

Isolation contre les vibrations
Le TS2000 intègre deux types de solutions d'isolation vibratoire pour mieux fonctionner dans différents environnements d'essais en laboratoire. L'encombrement total est comparable ou inférieur à celui des tables d'isolation des vibrations autonomes de pointe couramment utilisées dans l'industrie.

Un grand choix de chuck en fonction de l’application 
Les systèmes manuels sont disponibles avec différentes options de chucks pour répondre à différents budgets et exigences d'application. Les options comprennent les chucks coaxiaux ou triaxiaux de MPI ou divers chucks thermiques ERS pour prendre en charge les mesures de température jusqu'à 300 °C, avec une parfaite intégration de l’écran tactile de contrôle pour un accès et un fonctionnement rapide et pratique.

Intégration des chucks thermiques
Les mandrins thermiques (de 20°C ou ambiants à 300°C maximum) peuvent être commandés à l'aide de l'écran tactile entièrement intégré, placé à un endroit pratique devant l'opérateur pour une utilisation rapide et un retour d'information immédiat.

Chucks auxiliaires pour la calibration RF 
Les chucks RF intègrent deux chucks auxiliaires construits en céramique pour une calibration RF précise.

Intégration des instruments de mesure
L'étagère d'instruments optionnelle réduit la longueur des câbles et augmente la dynamique et la directivité des mesures pour les applications RF et mmW.

Différents choix d'optiques et de mouvements
Une large gamme d'optiques est disponible pour toutes les applications DC/CV courantes ou pour les microscopes numériques à fort grossissement pour les configurations RF ou load-pull.

DarkBox intégrée
Le TS2000-D est tout simplement le TS2000 avec une DarkBox intégrée !
Conçu pour un encombrement optimal, un verrouillage intégré, un éclairage LED et des panneaux d'interface standardisés pour divers instruments de mesure, le système est un choix privilégié pour les environnements de test protégés par la lumière et les lasers.
L'accès facile au panneau arrière permet une reconfiguration ou une configuration initiale rapide et très pratique.


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Laurent BEDDELEM
laurent.beddelem@microtest-semi.com
06.34.10.75.23

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