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Solutions de probing SiPH

(photonique sur silicium)

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MPI propose une gamme de solutions innovantes, polyvalentes et efficace des dans le domaine de la photonique sur silicium. Ces systèmes offrent une précision exceptionnelle grâce à des options avancées d'alignement de fibres optiques et réseaux de fibres (fiber array), et des capacités de mesure multiples pour les configurations de dispositifs O-O, O-E, E-O et E-E.

Les systèmes sont compatibles avec diverses stations de test manuelles et automatisées 150/200/300 mm, telles que les modèles TS150-AIT, TS200-THZ, TS200-IFE, TS300-AIT, TS300-IFE, TS2000-IFE, TS2000-SE, TS3000, TS3000-SE, TS3500 et TS3500-SE.

Les solutions SiPH de MPI sont conçues pour répondre aux défis typiques des tests de photonique sur silicium, notamment l'intégration des fibres optiques pour les tests au niveau du wafer, l'alignement des fibres avec les dispositifs, la répétabilité de la distance wafer-fibre, la prévention des collisions entre les fibres et le wafer, et l'intégration dans les exécutifs de test. Les configurations possibles incluent des systèmes d'alignement photoniques multicanaux rapides, des options de positionnement manuel ou automatisé, et des capacités de test à différentes températures.

Applications :

Les équipements de la gamme SiPH de MPI sont utilisés dans diverses applications de photonique sur silicium, notamment :

  • Tests de dispositifs photoniques : Les systèmes permettent de tester les dispositifs photoniques sur wafer, en intégrant des fibres optiques pour les tests au niveau du wafer et en alignant les fibres/réseaux de fibre avec les dispositifs pour une précision optimale.
  • Tests avec couplage par la tranche (edge coupling) : Les systèmes peuvent intégrer des solutions de couplage par la tranche (edge coupling) sur puce unique ou sur wafer.
  • Tests à différentes températures : Les systèmes sont capables de tester les dispositifs photoniques à des températures allant de -60 °C à 300 °C, ce qui permet de simuler des conditions réelles et de vérifier la stabilité thermique des dispositifs.
  • Automatisation des tests : Les options de positionnement manuel et automatisé, ainsi que les contrôleurs de mouvement numérique, permettent d'automatiser les tests de photonique sur silicium, ce qui améliore la répétabilité et la fiabilité des résultats.

Intégration SiPH dans le logiciel de pilotage SENTIO® : Les étapes d'alignement optique nécessaires, tels que l'hexapode, sont entièrement intégrés dans le logiciel de contrôle de la station de test SENTIO®. Elles sont utilisées comme n'importe quel autre positionneur automatisé, y compris ses fonctions d'alignement supplémentaires. En plus d'être intégré dans le logiciel multi-touch, le panneau de contrôle du matériel prend en charge le type de positionneur SiPH. Il est ainsi facile de mettre en œuvre les process pour des mesures optiques fiables et répétables.

SENTIO® SmartFence™ : SENTIO® offre d'autres fonctions utiles pour les mesures sur les dispositifs photoniques en silicium. Par exemple, l'utilisateur est guidé tout au long du processus de configuration grâce à un assistant dédié. Et la fonction SmartFence™ intégrée permet une navigation manuelle sûre et pratique des fibres sans risque de collision.

Gestion des types de fibres : Les différents types de fibres sont gérés par l'interface utilisateur graphique. De cette manière, la variété des dispositifs photoniques au silicium peut être testée de manière pratique. Pour faciliter l'intégration de la fonctionnalité SiPH dans les exécutifs de test, MPI fournit des exemples de scripts gratuits. Ceux-ci couvrent toutes les opérations nécessaires aux tests automatisés. En outre, des équipements de mesure optique peuvent être intégrés pour déclencher les mesures réelles, telles que les mesures IL ou PDL.

Zone d'étalonnage SiPH : Tous les systèmes SiPH de MPI comprennent une zone d'étalonnage pour la photonique au silicium. Dans cette zone, la hauteur de la fibre est calibrée pour permettre un placement répétable de la fibre lors de la mesure puce par puce. Un capteur de puissance optique permet de mesurer la puissance de sortie de la fibre afin de déterminer avec précision la puissance optique fournie au dispositif testé.

MPI offre de nombreuses options de configurations manuelles et automatiques pour une adaptation aux différents environnements de test et aux contraintes d’utilisation :

  • Contrôleur de mouvement numérique : Système de contrôle modulaire hexapode PI jusqu'à 6 axes, système d'exploitation en temps réel pour un contrôle de trajectoire excellent, interfaces flexibles.
  • Système d’alignement Nanopositionneur (nanocube PI) pour l’optimisation ultra-précis de du couplage optique à l’aide d’une routine automatisée intégrée à l’interface logicielle de la station de test.
  • Capteur de distance : Capteur capacitif intégré dans le bras support de la fibre au du réseau de fibre pour un positionnement précis et répétable de la hauteur des fibres, avec une résolution de 40 nm et une plage de mesure de 1000 µm.
  • Manipulateurs manuels : Options de positionnement entièrement manuel avec mouvement XYZ et rotation selon les axes XYZ (angles UVW).
  • Manipulateurs motorisés : Options de positionnement motorisé avec mouvement XYZ et rotation manuelle selon les axes XYZ (angles UVW).
  • Mesure de puissance optique : Capteur de puissance optique avec une plage de longueur d'onde de 400 à 1550 nm, une puissance d'entrée minimale de 85 nW et une puissance d'entrée maximale de 85 mW
  • Zone de calibration optique permettant le positionnement optimal de la fibre optique ou du réseau de fibre.
  • Support de fibre manuel positionné sur un manipulateur manuel et un bras RF pour les applications de base.

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Laurent BEDDELEM
laurent.beddelem@microtest-semi.com
06.34.10.75.23

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