distributeur français d’équipements et consommables pour l’industrie du Semiconducteur.
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Les systèmes de caractérisation de dispositifs MPI High-Power sont spécifiquement conçus pour les tests de dispositifs de haute puissance on-wafer. Les systèmes de sondes MPI TS150-HP, TS200-HP et TS300-HP fournissent une solution complète de 150 mm, 200 mm et 300 mm. Ils sont conçus pour réaliser des mesures de faible résistance de contact des semi-conducteurs de puissance dans une large gamme de températures.
Conçus spécialement pour les applications à haute tension et à haut courant
MPI ShielDEnvironment™ pour des mesures précises
Conception ergonomique et sécurité
Sécurité et précision
Les systèmes manuels standard de sondes à haute puissance sont configurés avec une DarkBox offrant un verrouillage de sécurité et une capacité de blindage EMI afin d'assurer des mesures à faible bruit, précises et sûres.
Les systèmes HP avec ShielEnvironment intègrent une barrière immatérielle pour des mesures sûres.
Intégration des instruments
Les TS150/200/300-HP peuvent être configurés avec une grande variété de connexions d'instruments, qui se compose de pointes haute tension / haute intensité et d'accessoires de câblage nécessaires pour une connexion optimale aux instruments de test tels que le Keysight B1505 (3 kV ou 10 kV) ou le Keithley 2600-PCT-XB, y compris l'intégration du panneau d'interface haute puissance 8020.
Platine à coussin d’air
La conception unique de la platine sur coussin d'air MPI, avec une commande simple d'une seule main, offre un confort d'utilisation inégalé pour une navigation XY rapide et un chargement rapide des wafers sans compromettre la capacité de positionnement précis et fin avec le mouvement micrométrique XY-Theta supplémentaire :
Platine unique avec Probe Hover Control™
La conception répétable (1 μm) de l'élévateur de platine comporte trois positions discrètes pour le contact, la séparation (300 μm) et le chargement (3 mm). L’ascenseur intègre un verrouillage de sécurité qui empêche la descente accidentelle de la plateforme. Ces caractéristiques offrent une fonctionnalité inégalée et constituent des offres standard pour le système de sonde manuelle TS200/300-SE. Ce système prévient des dommages sur les pointes de test ou les wafers et offre un contrôle intuitif, un positionnement précis des contacts, des réglages sûrs et répétables.
Réglage unique de la position Z du chuck
Les TS200/300-HP intègrent, en plus de la platine XY sur coussin d'air, un réglage Z du chuck de 5 mm avec une résolution au µm pour un contrôle fin et précis du contact / de l’overtravel ou la correction de pose de la carte à pointes.
Un indicateur avec une échelle de 1 mm fournit un retour d'information facile à l'opérateur. L'élévateur pneumatique de 20 mm offre en outre une procédure de chargement/déchargement facile et pratique.
Diverses options de chucks
Chucks coaxiaux de 10 kV ou triaxiaux de 3 kV pour mesures ambiantes et en température
Les options de chucks comprennent les chucks ambiants coaxiaux de 10 kV ou triaxiaux de 3 kV de MPI ou divers chucks thermiques ERS pour prendre en charge les mesures de température de -60 °C à 300 °C. L’écran tactile de contrôle est conçu pour être monté sur la station afin de permettre une utilisation rapide et pratique.
Un plateau supérieur du chuck, avec connexion électrique pour la polarisation, est conçu pour retenir le liquide Fluorinert™ pour une solution anti-arcing rentable.
Pointes de test haute tension / haute intensité / ultra haute puissance
Les solutions de test à haute puissance de MPI comprennent des pointes dédiées à haute tension (HVP), à haut courant (HCP) et à ultra haute puissance (UHP). Les sondes haute tension de MPI sont capables de mesurer de faibles courants de fuite pendant les tests haute tension jusqu'à 3kV en triaxial ou 5 & 10 kV en coaxial.
Les pointes HCP utilisent des pointes multi-contacts propres à MPI pour réduire la résistance de contact lors des mesures de courant ultra-haut jusqu'à 600A (pulsé).
Les pointes UHP combinent les deux capacités et éliminent la nécessité de changer de pointes pour les applications à haute tension et à courant élevé.
Différents choix d'optiques et de mouvements
Une large gamme d'optiques est disponible avec un choix entre la stéréo pour toutes les applications courantes ou des microscopes à fort grossissement à tube unique. Des caméras haute résolution pour un confort optimal sont également proposées.
Base ou table antivibration avancée
Etagères pour instruments de mesure
Sécurité permettant de transformer la station de test en un TS200/300-HP (haute puissance)
Support pour carte à pointes
Micromètres numériques
Compresseur et pompe à vide
