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Inspection de défauts de surface sur wafers

Inspection optique avancée pour wafers 6", 8", 12"

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Conçue pour l'inspection métrologique de précision dans l'industrie des semi-conducteurs, la machine d’inspection des défauts de surface des plaquettes permet une détection automatisée de haute résolution sur les wafers 6", 8" et 12".

Grâce à une caméra industrielle 12 MP et une optique motorisée multi-zoom (5X à 100X), cette solution est idéale pour l’analyse fine des défauts post-fabrication ou en contrôle qualité finale.

Elle convient parfaitement aux étapes d’inspection post-dicing, post-trimming ou d’entrée matière en backend, avec une capacité à repérer des défauts aussi petits que 0,035 µm², y compris fissures, rayures, contaminations ou délaminations.

Dotée d’une interface intelligente et d’une compatibilité avec les systèmes MES (Manufacturing Execution System), cette machine s’intègre parfaitement dans les lignes de production automatisées ou semi automatisées.

  • Compatibilité wafer : 6", 8", 12"
  • Caméra : 12 MP (4000 x 3000)
  • Objectifs motorisés : 5X / 10X / 20X / 50X / 100X
  • Source lumineuse : LED coaxiale interne
  • Défaut minimum détectable : 0,035 µm²
  • Précision de détection : jusqu’à 0,07 µm
  • Chargement/Déchargement : manuel ou via cassette wafer
  • Antivibrations : inspection stable pour grossissements jusqu’à 50X
  • Sortie automatique des rapports : texte + carte de wafer (SINF)
  • Visualisation des matrices anormales : image SINF consultable à tout moment

Cette machine d’inspection se distingue par sa modularité opérationnelle et sa haute précision d’analyse :

  • Mode Pick & Place intelligent pour automatiser le chargement
  • Intégration directe avec MES pour la traçabilité et l’analyse en temps réel
  • Cartographie automatique des défauts sur wafer pour une revue rapide
  • Sortie image et données analysables hors ligne
  • Commutation rapide entre différents formats de wafers

Idéale pour inspection en fin de ligne, post emballage ou contrôle qualité incoming.


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Laurent BEDDELEM
laurent.beddelem@microtest-semi.com
06.34.10.75.23

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