distributeur français d’équipements et consommables pour l’industrie du Semiconducteur.
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Les TS2000-HP et TS3000/3500-HP sont des stations de sondes dédiées de MPI pour la caractérisation de dispositifs de haute puissance sur wafers sur une large plage de température de -60°C à +300°C et une large plage de mesure de 3 kV (triax) / 10 kV (coax) et 600 A.
Ces systèmes intègrent le ShielDEnvironment™ de MPI offrant un environnement à très faible bruit et blindé. Avec le WaferWallet®, le TS3500-HP est le choix idéal pour répondre aux exigences accrues en matière de productivité (jusqu'à 10 fois plus élevée) et de manipulation entièrement automatique des wafers, par exemple des wafers SiC de 150 mm, GAN de 200 mm, ainsi que des wafers SiGe de 300 mm.
Le test sur des wafers minces ou Taiko est une option disponible pour les deux systèmes.
Ces systèmes intègrent les technologies avancées de MPI, telles que VCE™ , mDrive™ et/ou PHC™ en option ou en tant que mise à niveau sur le terrain.
La Sécurité
La barrière immatérielle de sécurité activée par verrouillage protège les utilisateurs d'une décharge accidentelle de haute tension en arrêtant l'instrument par le biais du système de verrouillage.
Le système est doté de portes arrière, également protégées par un système de verrouillage, afin de faciliter la mise en place de la configuration de mesure.
ShielDEnvironment™
MPI ShielDEnvironment™ est une chambre environnementale locale de haute performance fournissant un excellent environnement de test blindé, étanche aux interférences électromagnétiques et à la lumière, pour les mesures à très faible bruit et à faible capacité.
Pointes de test haute tension, haute intensité et ultra haute puissance
Les solutions de test MPI High Power comprennent les pointes de test dédiées aux courants forts qui utilisent les pointes multi-contacts de MPI pour une résistance de contact réduite. Les pointes haute tension de MPI sont capables de mesurer de faibles courants de fuite pendant les tests haute tension jusqu'à 3 kV en triaxial ou 5 kV & 10 kV en coaxial, et jusqu'à 600 A.
La carte à pointes haute puissance de MPI évite les arcs électriques jusqu'à 10 kV et offre des possibilités de test uniques jusqu'à 150°C.
Changement de wafer chauds/froids à une température définie
Le chargeur automatique mono-wafer du TS2000-HP et la gestion des tests de sécurité offrent une capacité unique de chargement/déchargement des wafers à n'importe quelle température. Il n'est plus nécessaire de refroidir ou de réchauffer à la température ambiante pour charger ou décharger un wafer. Cela permet d'économiser des temps d'arrêt importants et d'augmenter considérablement l'efficacité globale des systèmes de test MPI.
Un grand choix de chuck en fonction de l’application
Le TS2000/3000-SE est disponible avec différentes options de chuck pour répondre à différents budgets et exigences d'application:
Chucks ambiants : Coaxial, Triaxial ou RF avec deux chucks auxiliaires en céramique pour la calibration RF précise.
Divers chucks thermiques ERS AirCool de -60°C à 300°C.
Chucks auxiliaires pour la calibration RF
Les chucks RF intègrent deux chucks auxiliaires construits en céramique pour une calibration RF précise.
Intégration des instruments de mesure
L'étagère d'instruments optionnelle réduit la longueur des câbles et augmente la dynamique et la directivité des mesures pour les applications RF et mmW.
Différents choix d'optiques et de mouvements
Une large gamme d'optiques est disponible pour toutes les applications DC/CV courantes ou pour les microscopes numériques à fort grossissement pour les configurations RF ou load-pull.
LiquidTray™ anti-arc en option
Le LiquidTray™ spécialement conçu pour éviter les arcs électriques peut être utilisé en le plaçant simplement sur la surface du chuck à haute puissance. Les wafers peuvent être placés en toute sécurité à l'intérieur du plateau afin d'être immergées dans le liquide pour un test de haute tension sans arc électrique.
