Microchambre de test
pointes manuelles
(option 80K à +1000°C)
Pointes manuelles (option 80K à +1000°C)
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Présentation
Présentation :
La microchambre de test sous pointes (microprobe) est un outil hyper compact de mesure de précision pour analyser les propriétés électriques, optiques et physiques des échantillons à une échelle microscopique (diélectrique, ionique, semiconducteur, électronique) et leurs interfaces (par exemple les joints de grains et les électrodes).
Ces mesures peuvent être réalisées dans les conditions environnementales souhaitées de température, d’humidité, de gaz, de vide, etc. afin de reproduire les conditions réelles in-situ.
Configuration : consultez les configurations détaillées sur l'onglet suivant : nombre de pointes, régulation en température.
Malgré la dilatation / contraction du substrat en fonction de la température, le point de contact avec la pointe ne change pas grâce au micropositionneur.
Utilisation polyvalente et très larges champs d’applications :
- La caractérisation et le test de matériaux tels que les matériaux céramiques avancés, les matériaux électroniques et d’affichage, les matériaux pour capteurs diélectriques et isolants à haute température, les matériaux pour piles à combustible et électrolytes solides.
- La caractérisation des matériaux photovoltaïques et thermoélectriques.
- La conductivité thermique des matériaux bruts et/ou déposés en couches minces.
- La caractérisation de MEMS/NEMS et de capteurs Micro/Nano.
- Potentiellement toute application en lien avec la mesure des propriétés électriques, optiques et physiques.
Configurations
Le nombre de pointes :
- En configuration standard : 4, 6 ou 8 pointes.
En sur-mesure : voir les photos exemples avec 10 et 13 pointes. Nous consulter pour toute demande spécifique.
Le contrôle des conditions environnementales :
- Système de contrôle précis de l'humidité.
- Contrôleur de débit massique (MFC) des gaz, jusqu’à 4 lignes de gaz.
- Système de contrôle précis de la pression et du niveau de vide .
7 configurations pour la régulation en température de l’échantillon :
1 - Pas de dispositif de mise en température.
L’échantillon est simplement maintenu physiquement sur le porte-substrat et peut être mis à la masse.
2 - Dispositif Peltier :
a. Gamme -40 à +200°C, taille des échantillons : 19 x 19 mm
b. Gamme -40 à +170 °C : dispositif Peltier avec trou diam. 3,2 mm, pour faire des mesures de transmittance p.e. Taille des échantillons : 16 x 16 mm
3 - Dispositif de chauffage en céramique, taille des échantillons : Ø 1/2 pouce (12,7 mm)
Valeur du thermocouple à l'intérieur de l'unité de chauffage :
- Ambiante à +450 °C
- Ambiante à +750 °C
- Ambiante à +1000 °C
4 - Dispositif de refroidissement à l'azote liquide
Température : 80 K (-193,15°C) à l'ambiante
Rampe de température en montée et en descente : 20°C/min
Options et sur-mesure
Options : La microchambre de test sous pointes avec positionnement manuel se décline avec les options suivantes :
- Couvercle : plein, ou avec hublot ZnSe pour la transmittance au infrarouge, ou avec hublot de diamètre 1’’ ou encore couvercle entièrement en quartz.
- Micropositionneur xyz externe : bras de positionnement précis qui permet un réglage précis et fin avec un micropositionneur externe lorsque la taille du pad de contact est petite (jusqu'à 200µm).
- Pour les pads de contact inférieurs à 200 µm, il est recommandé d'utiliser un micropositionneur piézoélectrique (Cf. Microchambre de test avec pointes motorisées)
- Thermocouple de mesure de la température de surface du substrat.
Sur-mesure : Pour vos besoins les plus exigeants et spécifiques, contactez-nous pour concevoir votre microchambre sur mesure, en définissant :
- Les dimensions
- Le nombre de pointes (probes)
- Le type de pointes
- Les composants optiques
- La gamme de température
- Les mesures RF
- Le contrôle de l’humidité
- Le contrôle des gaz de process
- Le fort courant
- Etc.
