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Microchambre de test
pointes manuelles
(option 80K à +1000°C)

Pointes manuelles ​ (option 80K à +1000°C)

Présentation : ​

La microchambre de test sous pointes (microprobe) est un outil hyper compact de mesure de précision pour analyser les propriétés électriques, optiques et physiques des échantillons à une échelle microscopique (diélectrique, ionique, semiconducteur, électronique) et leurs interfaces (par exemple les joints de grains et les électrodes).​ ​

Ces mesures peuvent être réalisées dans les conditions environnementales souhaitées de température, d’humidité, de gaz, de vide, etc. afin de reproduire les conditions réelles in-situ.

Configuration : consultez les configurations détaillées sur l'onglet suivant : nombre de pointes, régulation en température.​ ​

Malgré la dilatation / contraction du substrat en fonction de la température, le point de contact avec la pointe ne change pas grâce au micropositionneur.​ ​

Utilisation polyvalente et très larges champs d’applications :

  • La caractérisation et le test de matériaux tels que les matériaux céramiques avancés, les matériaux électroniques et d’affichage, les matériaux pour capteurs diélectriques et isolants à haute température, les matériaux pour piles à combustible et électrolytes solides. ​
  • La caractérisation des matériaux photovoltaïques et thermoélectriques​.
  • La conductivité thermique des matériaux bruts et/ou déposés en couches minces​.
  • La caractérisation de MEMS/NEMS et de capteurs Micro/Nano​.
  • Potentiellement toute application en lien avec la mesure des propriétés électriques, optiques et physiques.

Le nombre de pointes : ​

  • En configuration standard : 4, 6 ou 8 pointes.

En sur-mesure : voir les photos exemples avec 10 et 13 pointes. Nous consulter pour toute demande spécifique. ​

Le contrôle des conditions environnementales : ​

  • Système de contrôle précis de l'humidité.
  • Contrôleur de débit massique (MFC) des gaz, jusqu’à 4 lignes de gaz.
  • Système de contrôle précis de la pression et du niveau de vide .


7 configurations pour la régulation en température de l’échantillon : ​

​1 - Pas de dispositif de mise en température.
L’échantillon est simplement maintenu physiquement sur le porte-substrat et peut être mis à la masse. ​

2 - Dispositif Peltier :
            a. Gamme -40 à +200°C, taille des échantillons : 19 x 19 mm ​
            b. Gamme -40 à +170 °C : dispositif Peltier avec trou diam. 3,2 mm, pour faire des mesures de transmittance p.e. Taille des échantillons : 16 x 16 mm​

3 - Dispositif de chauffage en céramique, taille des échantillons : Ø 1/2 pouce (12,7 mm)​
Valeur du thermocouple à l'intérieur de l'unité de chauffage : ​

  • Ambiante à +450 °C
  • Ambiante à +750 °C​
  • Ambiante à +1000 °C

4 - Dispositif de refroidissement à l'azote liquide​

Température : 80 K (-193,15°C) à l'ambiante ​
Rampe de température en montée et en descente : 20°C/min​

Options : La microchambre de test sous pointes avec positionnement manuel se décline avec les options suivantes : ​

  • Couvercle : plein, ou avec hublot ZnSe pour la transmittance au infrarouge, ou avec hublot de diamètre 1’’ ou encore couvercle entièrement en quartz. ​
  • Micropositionneur xyz externe : bras de positionnement précis qui permet un réglage précis et fin avec un micropositionneur externe lorsque la taille du pad de contact est petite (jusqu'à 200µm). ​
  • Pour les pads de contact inférieurs à 200 µm, il est recommandé d'utiliser un micropositionneur piézoélectrique (Cf. Microchambre de test avec pointes motorisées) ​
  • Thermocouple de mesure de la température de surface du substrat.​

Sur-mesure : Pour vos besoins les plus exigeants et spécifiques, contactez-nous pour concevoir votre microchambre sur mesure, en définissant : ​

  • Les dimensions​
  • Le nombre de pointes (probes)​
  • Le type de pointes ​
  • Les composants optiques ​
  • La gamme de température​
  • Les mesures RF​
  • Le contrôle de l’humidité​
  • Le contrôle des gaz de process ​
  • Le fort courant​
  • Etc. ​

Connectez-vous à notre expert
Marie-Helene Bedelem
mh.beddelem@microtest-semi.com

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