Spin Coater cover chuck Dominus

La série DOMINUS Coater de Robotechnik est une gamme de systèmes de revêtement par pulvérisation Spray Coater haute performance conçus pour diverses applications dans l'industrie des semiconducteurs ou autres domaines associés. Ces systèmes sont idéaux pour obtenir d'excellents résultats de dépôt sur des structures spécifiques ou non uniformes, avec un haut niveau d'uniformité et de répétabilité. La série DOMINUS Coater comprend des modèles tels que DOMINUS Coater ST22i et ST30i, chacun adapté à des besoins et applications spécifiques.

Le DOMINUS Coater ST22i est un système de Spray Coating conçu pour des wafers jusqu'à Ø 8” (Ø 200 mm) et des substrats jusqu'à 6” x 6” (150 mm x 150 mm). Il dispose d'une chambre de process avec une porte de sécurité, d'une plaque chauffante OPTIhot HB 20+ avec des pins de levage, et d'un bras de média programmable avec une micro-buse. Le DOMINUS Coater ST30i offre des capacités similaires mais prend en charge des wafers plus grands jusqu'à Ø 12” (Ø 300 mm) et des substrats jusqu'à 9” x 9” (225 mm x 225 mm).

Avantages Techniques :

• Uniformité et Répétabilité: La technologie avancée de Spray Coating assure une excellente uniformité et répétabilité sur tout type de structure, en particulier possédant des différences de topographie.
• Polyvalence: Capable de gérer divers process de dépôt, pour différentes formes, taille et type de substrat. La flexibilité dans l’orientation du spray peut permettre la mise en œuvre de recettes variées pour s’adapter aux conditions requises.
• Facilité d'Utilisation: Des fonctionnalités telles que les écrans tactiles et les buses programmables améliorent l'expérience utilisateur et la maintenance.
• Automatisation: La mise en œuvre de recette automatiques améliore l’efficacité et la reproductibilité des process mis en œuvre.

Applications :

Ces systèmes de revêtement par pulvérisation sont utilisés dans l'industrie des semiconducteurs mais également d’autres industries parallèles (optique, médical,…) pour des process de revêtement de résine photosensibles et d'autres applications de films minces. Leur flexibilité permet la mise en œuvre de process non disponibles avec les systèmes classiques de spin coating.