distributeur français d’équipements et consommables pour l’industrie du Semiconducteur.
distributeur français d’équipements et consommables pour l’industrie du Semiconducteur.
Clusters
Pour des substrats jusqu’à Ø300 mm (12″) ou 230 x 230 mm (9″ x 9″), les équipements permettent de la production automatique, parfaitement adaptée à votre activité, de par leur configuration flexible avec divers modules : spin-coater, developer, temperature tower (hot/cool plates, HMDS hotplate).
Le chargement et le transfert d’un module à l’autre sont complètement automatisés : chargement par FOUP et robot, avec en options possibilité d’intégrer un flipper module (module de retournement de wafer), un module d’alignement, etc.
