distributeur français d’équipements et consommables pour l’industrie du Semiconducteur.
distributeur français d’équipements et consommables pour l’industrie du Semiconducteur.
Présentation :
La microchambre de test sous pointes (microprobe) est un outil hyper compact de mesure de précision pour analyser les propriétés électriques, optiques et physiques des échantillons à une échelle microscopique (diélectrique, ionique, semiconducteur, électronique) et leurs interfaces (par exemple les joints de grains et les électrodes).
Ces mesures peuvent être réalisées dans les conditions environnementales souhaitées de température, d’humidité, de gaz, de vide, etc. afin de reproduire les conditions réelles in-situ.
Jusqu’à des tailles de pad de contact de 200 µm, les pointes manuelles, potentiellement assistées du micropositionneur xyz externe, permettent d’atteindre la précision de positionnement des pointes requise.
Pour les pads de contact inférieurs à 200 µm, il est recommandé d'utiliser les micropositionneurs piézoélectriques des pointes motorisées.
Un positionnement précis est possible à distance à l'endroit souhaité. Pour les très petits pads de contact, nous proposons des pointes très fines inférieures à 10 µm.
Malgré la dilatation / contraction du substrat en fonction de la température, le point de contact avec la pointe ne change pas grâce au micropositionneur.
Utilisation polyvalente et très larges champs d’applications :
Spécifications des positionneurs piézoélectriques :
Le nombre de pointes :
Le contrôle des conditions environnementales :
7 configurations pour la régulation en température de l’échantillon :
1 - Pas de dispositif de mise en température.
L’échantillon est simplement maintenu physiquement sur le porte-substrat et peut être mis à la masse.
2 - Dispositif Peltier :
a - Gamme -40 à +200°C, taille des échantillons : 19 x 19 mm
b - Gamme -40 à +170 °C : dispositif Peltier avec trou diam. 3,2 mm, pour faire des mesures de transmittance p.e. Taille des échantillons : 16 x 16 mm
3 - Dispositif de chauffage en céramique, taille des échantillons : Ø 1/2 pouce (12,7 mm)
Valeur du thermocouple à l'intérieur de l'unité de chauffage :
a - Ambiante à +450 °C
b - Ambiante à +750 °C
c - Ambiante à +1000 °C
4 - Dispositif de refroidissement à l'azote liquide
Température : 80 K (-193,15°C) à l'ambiante
Rampe de température en montée et en descente : 20°C/min
Options : La microchambre de test sous pointes avec positionnement motorisé se décline avec les options suivantes :
Sur-mesure : Pour vos besoins les plus exigeants et spécifiques, contactez-nous pour concevoir votre microchambre sur mesure, en définissant :
