Il s’agit d’un équipement permettant d’insoler automatiquement des wafers jusqu’à 200 mm (6″+8″) pour la référence UV-9200 et des wafers jusqu’à 300 mm (6″+8″+12″) pour la référence UV-9300, avec chargement de cassette.
Le logiciel intuitif, auquel l’opérateur accède via un écran tactile, permet de contrôler les paramètres de l’insolation.