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Probers manuels standards

Stations de test polyvalentes pour puces et wafers jusqu’à 300 mm

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MPI TS150, TS200 and TS300 : Une gamme complète de stations de test sous pointes manuelles pour des mesures électriques fiables et précises DC/IV et RF

Utilisation flexible et universelle

  • Conçu pour une grande variété d’applications telles que la caractérisation et la modélisation des dispositifs, les tests de fiabilité sur wafers, l’analyse des défaillances, l’ingénierie des circuits intégrés, les MEMS et la haute puissance

 

Conception ergonomique

  • Contrôle unique du mouvement du chuck par coussin d’air pour un fonctionnement rapide à une seule main
  • Platine rigide permettant d’accueillir jusqu’à 10 positionneurs DC ou 4 positionneurs RF
  • Levage de la platine hautement reproductible avec trois positions pour le contact, la séparation et le chargement

 

Évolutivité

  • Disponible avec diverses options de chuck et une large gamme d’accessoires tels que des micropositionneurs DC / RF / mmW, des optiques, des microscopes et une boîte noire blindée EMI pour répondre à diverses applications

Les stations de test sous pointes MPI intègrent de nombreuses innovations permettant d’accroitre l’ergonomie d’utilisation, la qualité et la répétabilité des mesures réalisées.

Platine à coussin d’air
La conception unique de la platine sur coussin d'air MPI, avec une commande simple d'une seule main, offre un confort d'utilisation inégalé pour une navigation XY rapide et un chargement rapide des wafers sans compromettre la capacité de positionnement précis et fin avec le mouvement micrométrique XY-Theta supplémentaire :

  • YX : 25 x 25 mm
  • Résolution < 1 µm
  • Thêta : ± 5°
  • Résolution : 7,5.10-3 gradient

 

Ajustement Z de la platine
L’ensemble de la platine de test est réglable sur une plage de 20 mm pour permettre d’ajuster la position de l’ensemble des manipulateurs en même temps ou de réaliser le contact à partir d’une carte à pointes.

Platine amovible unique pour le contact et la séparation
La précision de la mesure dépend d'abord de la qualité du contact ! La conception de l'élévation du plateau hautement répétable (1µm) avec trois positions discrètes pour le contact, la séparation (300µm) et le chargement (3mm) avec un utilitaire de verrouillage de sécurité sont autant d'exemples de fonctionnalités inégalées incorporées dans les stations de test manuelles MPI. Ces caractéristiques permettent d'éviter d'endommager la sonde ou le wafer de silicium de manière inattendue, tout en offrant un contrôle intuitif et un positionnement précis du contact. Cette capacité est particulièrement critique dans les applications à haute fréquence et à haute puissance afin d'obtenir les résultats de mesure les plus précis.

Plate-forme d'isolation des vibrations
Tous les systèmes manuels sont équipés d'une base absorbant les vibrations afin d'assurer un contact stable et fiable à long terme entre la sonde et le pad, ce qui garantit des résultats de mesure fiables.

Un grand choix de chuck en fonction de l’application

Les systèmes manuels sont disponibles avec différentes options de chucks pour répondre à différents budgets et exigences d'application. Les options comprennent les chucks coaxiaux ou triaxiaux de MPI ou divers chucks thermiques ERS pour prendre en charge les mesures de température jusqu'à 300 °C, avec une parfaite intégration de l’écran tactile de contrôle pour un accès et un fonctionnement rapide et pratique.

Chucks auxiliaires pour la calibration RF

Les chucks RF intègrent deux chucks auxiliaires construits en céramique pour une calibration RF précise.

Différents choix d'optiques et de mouvements

Une large gamme d'optiques est disponible avec un choix entre la stéréo pour toutes les applications courantes DC/CV ou des microscopes à fort grossissement à tube unique pour les configurations RF ou load-pull. Des caméras haute résolution pour un confort optimal sont également proposées.

Base ou table antivibration avancée

Etagères pour instruments de mesure

Dark box (boite noire)

Support pour carte à pointes

Micromètres numériques

Compresseur et pompe à vide


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Laurent BEDDELEM
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