Microcluster - MICROTEST

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Microcluster :
Lithographie / Nettoyage


Equipements de process automatiques cassettes à cassettes :
(Priming, Spinner, Coater,
Puddle, Developpement par spray,
Hotplate, Coolplate, Déposition de résine,
Nettoyage de wafers et de masques)
pour le traitement des wafers de 2" à 8" et
substrats de 2" x 2" à 6" x 6".

Structure PC pour la programmation,
Ecran plat tacile 19",
Connexion USB et Intranet, ...

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