Fours RTP - MICROTEST

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Four de Process Rapide RTP :

Plusieurs modèles :
RTP-100 : pour wafer 4" (+ 1 200°C),
RTP-150 : pour wafer 6" (+ 1 000°C),
VPO-1000-300 : pour wafer 12" (+ 1 000°C),

Rampe de montée et descente en température programmable,
Chauffage par lampes IR ou UV,
Température régulée par PID
Refroidissement par gaz neutre ou eau,
Réglage des débits de gaz par débitmètres,
Possibilité de 50 programmes avec 50 pas chacun,
Interface USB, ...

Options :
Ligne de gaz supplémentaire par débitmètre,
Thermocouple additionnel, ...

 
 
 
 
Télécharger la fiche produit RTP :
 
 
 
 
 
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