Dépot Evaporation - MICROTEST

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Front-End > Dépot PVD


Equipements de dépôt par évaporation
(Nous distribuons Kenosistec et Electrorava)



Equipements standards ou fabriqués à la demande
selon cahier des charges.
Toute taille de chambre.
Evaporation thermique ou par canon à électrons (e-beam).
Tout type de dépôt métallique.
Epaisseur de dépôt jusqu'à plusieurs dizaines de microns.


Options :
Porte substrat chauffant,
Choix de sources ioniques pour dépôt assisté ou gravure,
Nettoyage du substrat par plasma DC ou RF,
Sas de chargement, ...


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